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碳化硅加工工艺流程 一、碳化硅的发展史： 1893 年 艾奇逊 发表了第一个制碳化硅的专利，该专利提出了制取碳化硅 的工业方法，其主要特点是，在以碳制材料为炉芯的电阻炉中通过加热二氧化硅 和碳的混合物，使之相互反应，从而生成碳化硅，到 1925 年卡普伦登公司，又 宣布研制成功绿碳化硅。

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碳化硅生产工艺流程详细介绍？碳化硅生产工艺流程以及工作

包括黑碳 化硅 和绿 2113 碳化硅，其 中： 黑 5261 碳化硅 4102 是以 石英砂 1653,石油焦 和优 质硅石为 回 主要原 料,通过电阻 答 炉高 温冶 炼而成。 其硬度介于刚玉和金刚石之间,机械强度高于刚玉,性脆而锋利。绿碳化硅是以石油焦和优质硅石为主要